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近日，據(jù)納設智能官微消息，納設智能成功研制出更大尺寸具有更多創(chuàng)新技術的 8英寸碳化硅外延設備 。據(jù)悉，該設備具備 獨特反應腔室設計、可獨立控制的多區(qū)進氣方式 、以及 智能的控制系統(tǒng) ，將更好的提高外延片的均勻性，降低外延缺陷及生產(chǎn)中的耗材成本。

納設智能開發(fā)的8英寸碳化硅外延設備順應了產(chǎn)業(yè)向更大尺寸的發(fā)展趨勢，在技術上具有前瞻性，同時能夠向下 兼容6英寸外延 ，符合當前市場對于6英寸和8英寸兼容的需求。

具體來看，納設智能持續(xù)圍繞提升工藝指標、降低耗材成本和維護頻次方面進行產(chǎn)品的迭代優(yōu)化，不斷在反應室系統(tǒng)，氣體輸運系統(tǒng)和整體軟件系統(tǒng)等方面進行技術創(chuàng)新。

目前，納設智能已實現(xiàn)8英寸碳化硅外延設備的交付， 該設備在客戶現(xiàn)場生產(chǎn)的外延片厚度不均勻性≤2%，濃度不均勻性~4%，表面粗糙度≤0.3cm-2，缺陷控制良好。

訂單方面，據(jù)納設智能首席營銷官李小天在行業(yè)會議上透露，納設智能6英寸碳化硅外延設備在國內市場中占據(jù)重要地位， 截止目前，累計獲得10+個客戶超過150臺設備訂單，訂單金額累計數(shù)億元。

納設智能創(chuàng)立于2018年，致力于第三代半導體、碳納米材料等先進材料制造設備的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，技術處于國內領先水平。核心團隊由世界著名半導體設備公司的科學家、劍橋大學博士和材料設備領域資深專家組成。公司自有第三代半導體碳化硅外延設備研發(fā)技術榮登“科創(chuàng)中國”先導技術榜單。公司認證有ISO9001質量管理體系及售后服務體系，于2020年被評定為具有高成長性的“國家高新技術企業(yè)”，2022年榮獲深圳市“專精特新”中小企業(yè)認定。

納設智能以市場需求為導向研發(fā)新裝備，解決一批核心問題，形成一批自有技術，相關技術指標的突破，標志著納設智能已成功掌握8英寸SiC外延設備相關技術，可為行業(yè)提供更為先進的技術支持，進一步提高我國碳化硅產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力，促進第三代半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

來源：納設智能

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